Materias dentro de su búsqueda.
Materias dentro de su búsqueda.
Interferometric lithography
11
Interferometry
11
Extreme ultraviolet lithography
10
EUV lasers
8
Nanopatterning
7
Polymethyl methacrylates
7
Extreme ultraviolet lasers
6
Photoresists
6
Extreme ultraviolets
5
Nanotechnology
5
Ultraviolet lasers
5
Extreme Ultraviolet
4
High-precision
4
Hydrogen silsesquioxane
4
Interferometers
4
Laboratory environment
4
Lithography
4
NanoPatterning
4
Phase shift
4
Phase-shift interferometer
4
Phase-shifting interferometers
4
Pulsed lasers
4
Table-top
4
Ultraviolet radiation
4
Ar-laser
3
Argon lasers
3
Capillary discharge lasers
3
Electron beam lithography
3
Full width half maximum
3
Lasers
3
-
1por Capeluto, M.G., Vaschenko, G., Grisham, M.E., Marconi, M.C., Menoni, C.S., Rocca, J.J., Ludueña, S., Pietrasanta, L., Marcano O. A., Paz J.L.Materias: “...Laser applications...”
CONF -
2por Capeluto, M.G., Wachulak, P., Marconi, M.C., Patel, D., Menoni, C.S., Rocca, J.J., Iemmi, C., Anderson, E.H., Chao, W., Attwood, D.T.Materias: “...EUV lasers...”
JOUR -
3por Capeluto, M.G., Vaschenko, G., Grisham, M., Marconi, M.C., Ludueña, S., Pietrasanta, L., Lu, Y., Parkinson, B., Menoni, C.S., Rocca, J.J.Materias: “...X-ray lasers...”
JOUR -
4por Wachulak, P.W., Urbanski, L., Capeluto, M.G., Hill, D., Rockward, W.S., Iemmi, C., Anderson, E.H., Menoni, C.S., Rocca, J.J., Marconi, M.C.Materias: “...Extreme ultraviolet (EUV) lasers...”
JOUR -
5Materias: “...Argon lasers...”
Documento de conferencia publishedVersion -
6Materias: “...Argon lasers...”
Documento de conferencia publishedVersion -
7Materias: “...Argon lasers...”
CONF -
8Materias: “...EUV lasers...”
Artículo publishedVersion -
9Materias: “...EUV lasers...”
Artículo publishedVersion -
10Materias: “...EUV lasers...”
JOUR -
11Materias: “...Laser lithography...”
CONF -
12Materias: “...Laser lithography...”
CONF -
13Materias: “...Soft X-ray lasers...”
CONF -
14Materias: “...Lasers...”
CONF -
15por Hollinger, R., Bargsten, C., Shlyaptsev, V.N., Kaymak, V., Pukhov, A., Capeluto, M.G., Wang, S., Rockwood, A., Wang, Y., Townsend, A., Prieto, A., Stockton, P., Curtis, A., Rocca, J.J.Materias: “...Ultrafast lasers...”
JOUR -
16por Marconi, M.C., Wachulak, P.W., Capeluto, M.G., Vaschenko, G., Bravo, H., Menoni, C.S., Rocca, J., Anderson, E.H., Chao, W., Attwood, D., Hemberg, O., Frazer, B., Bloom, S.Materias: “...Extreme ultraviolet lasers...”
CONF -
17Materias: “...Extreme ultraviolet lasers...”
JOUR -
18Materias: “...Pulsed lasers...”
JOUR