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1

Nanopatterning in a compact setup using table top extreme ultraviolet lasers

por Wachulak, P.W., Capeluto, M.G., Menoni, C.S., Rocca, J.J., Marconi, M.C.
Publicado 2008

Aportado por: Biblioteca Digital - Facultad de Ciencias Exactas y Naturales (UBA)

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Artículo publishedVersion
2

Nanopatterning in a compact setup using table top extreme ultraviolet lasers

por Wachulak, P.W., Capeluto, M.G., Menoni, C.S., Rocca, J.J., Marconi, M.C.

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JOUR
3

Patterning of nano-scale arrays by table-top extreme ultraviolet laser interferometric lithography

por Wachulak, P.W., Capeluto, M.G., Marconi, M.C., Menoni, C.S., Rocca, J.J.

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4

Arrays of sub-100 nm features fabricated with table top extreme ultraviolet interferometric laser lithography

por Wachulak, P.W., Capeluto, M.G., Marconi, M.C., Menoni, C.S., Rocca, J.J.

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CONF
5

Arrays of sub-100 nm features fabricated with table top extreme ultraviolet interferometric laser lithography

por Wachulak, P.W., Capeluto, M.G., Marconi, M.C., Menoni, C.S., Rocca, J.J.

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6

Nanopatterning in a compact setup using table top extreme ultraviolet lasers

por Wachulak, P.W., Capeluto, M.G., Menoni, C.S., Rocca, J.J., Marconi, M.C.
Publicado 2008

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Artículo publishedVersion
7

Interferometric lithography with sub-100-nm resolution using a tabletop 46.9-nm laser

por Wachulak, P.W., Patel, D., Capeluto, M.G., Menoni, C.S., Rocca, J.J., Marconi, M.C.

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CONF
8

Nanoscale patterning in high resolution HSQ photoresist by interferometric lithography with tabletop extreme ultraviolet lasers

por Wachulak, P.W., Capeluto, M.G., Marconi, M.C., Patel, D., Menoni, C.S., Rocca, J.J.

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JOUR
9

Nanopillars and arrays of nanoholes fabricated by extreme ultraviolet interferometric laser lithography

por Wachulak, P.W., Capeluto, M.G., Patel, D., Marconi, M.C., Menoni, C.S., Rocca, J.J.

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CONF
10

Thin film absorption characterization by focus error thermal lensing

por Domené, E.A., Schiltz, D., Patel, D., Day, T., Jankowska, E., Martínez, O.E., Rocca, J.J., Menoni, C.S.

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JOUR
11

Nanopatterning with interferometric lithography using a compact λ = 46.9-nm laser

por Capeluto, M.G., Vaschenko, G., Grisham, M., Marconi, M.C., Ludueña, S., Pietrasanta, L., Lu, Y., Parkinson, B., Menoni, C.S., Rocca, J.J.

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JOUR
12

Table top nanopatterning with extreme ultraviolet laser illumination

por Capeluto, M.G., Wachulak, P., Marconi, M.C., Patel, D., Menoni, C.S., Rocca, J.J., Iemmi, C., Anderson, E.H., Chao, W., Attwood, D.T.

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JOUR
13

New opportunities in interferometric lithography using extreme ultraviolet tabletop lasers

por Wachulak, P.W., Urbanski, L., Capeluto, M.G., Hill, D., Rockward, W.S., Iemmi, C., Anderson, E.H., Menoni, C.S., Rocca, J.J., Marconi, M.C.

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JOUR
14

Interferometric lithography at 46.9 nm

por Capeluto, M.G., Vaschenko, G., Grisham, M.E., Marconi, M.C., Menoni, C.S., Rocca, J.J., Ludueña, S., Pietrasanta, L., Marcano O. A., Paz J.L.

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CONF
15

Nanopatterning and nanomachining with table-top extreme ultraviolet lasers

por Marconi, M.C., Wachulak, P.W., Capeluto, M.G., Vaschenko, G., Bravo, H., Menoni, C.S., Rocca, J., Anderson, E.H., Chao, W., Attwood, D., Hemberg, O., Frazer, B., Bloom, S.

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CONF
16

Arrays of sub-100 nm features fabricated with table top extreme ultraviolet interferometric laser lithography

por Wachulak, P.W
Publicado 2007
Otros Autores: “...Menoni, C.S...”

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Acta de conferencia Capítulo de libro
17

Patterning of nano-scale arrays by table-top extreme ultraviolet laser interferometric lithography

por Wachulak, P.W
Publicado 2007
Otros Autores: “...Menoni, C.S...”

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Capítulo de libro
18

Arrays of sub-100 nm features fabricated with table top extreme ultraviolet interferometric laser lithography

por Wachulak, P.W
Publicado 2007
Otros Autores: “...Menoni, C.S...”

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Acta de conferencia Capítulo de libro
19

Nanoscale patterning in high resolution HSQ photoresist by interferometric lithography with tabletop extreme ultraviolet lasers

por Wachulak, P.W
Publicado 2007
Otros Autores: “...Menoni, C.S...”

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Capítulo de libro
20

Nanopillars and arrays of nanoholes fabricated by extreme ultraviolet interferometric laser lithography

por Wachulak, P.W
Publicado 2007
Otros Autores: “...Menoni, C.S...”

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Acta de conferencia Capítulo de libro