Oxidación de GaAs [100] a través de espectroscopía Auger
Hemos estudiado las primeras etapas de la oxidación superficial de GaAs utilizando la Espectroscopía de Electrones Auger (AES). Mediante la aplicación de la técnica de Análisis de Factores (FA) determinamos el número de compuestos presentes en la superficie. La evolución de la reacción fue seguida a...
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1991
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todo:afa_v03_n01_p3612023-10-03T13:19:57Z Oxidación de GaAs [100] a través de espectroscopía Auger Passeggi, M. García, E. Barco, José Luis del Ferrón, J. Hemos estudiado las primeras etapas de la oxidación superficial de GaAs utilizando la Espectroscopía de Electrones Auger (AES). Mediante la aplicación de la técnica de Análisis de Factores (FA) determinamos el número de compuestos presentes en la superficie. La evolución de la reacción fue seguida a través de la variación relativa de las transiciones Auger MVV del As y MMM del Ga; la concentración de oxígeno se determinó con la evolución de los niveles KLL del mismo. Determinamos hasta dos compuestos para toda la estructura GaAs, así como también para los picos de As y Ga, dentro de nuestro rango de exposición Fil: Passeggi, M.. Universidad Nacional del Litoral - CONICET. Instituto de Desarrollo Tecnológico para la Industria Química (INTEC). Santa Fe. Argentina Fil: García, E.. Universidad Nacional del Litoral - CONICET. Instituto de Desarrollo Tecnológico para la Industria Química (INTEC). Santa Fe. Argentina Fil: Barco, José Luis del. Universidad Nacional del Litoral - CONICET. Instituto de Desarrollo Tecnológico para la Industria Química (INTEC). Santa Fe. Argentina Fil: Ferrón, J.. Universidad Nacional del Litoral - CONICET. Instituto de Desarrollo Tecnológico para la Industria Química (INTEC). Santa Fe. Argentina 1991 PDF Español info:eu-repo/semantics/openAccess https://creativecommons.org/licenses/by-nc-sa/2.5/ar https://hdl.handle.net/20.500.12110/afa_v03_n01_p361 |
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Hemos estudiado las primeras etapas de la oxidación superficial de GaAs utilizando la Espectroscopía de Electrones Auger (AES). Mediante la aplicación de la técnica de Análisis de Factores (FA) determinamos el número de compuestos presentes en la superficie. La evolución de la reacción fue seguida a través de la variación relativa de las transiciones Auger MVV del As y MMM del Ga; la concentración de oxígeno se determinó con la evolución de los niveles KLL del mismo. Determinamos hasta dos compuestos para toda la estructura GaAs, así como también para los picos de As y Ga, dentro de nuestro rango de exposición |
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