Desarrollo de un láser de excímero XeCI con preionización tipo corona

Mostrar todas las versiones(2)

Se presenta el desarrollo de un láser de excímero XeCl del tipo T.E, de alta presión (2-4 atm.), que emplea Ne como gas buffer. El circuito de excitación es del tipo "transferencia capacitiva" y el canal de descarga está conformado con un cátodo segmentado inductivamente estabilizado y un...

Descripción completa

Guardado en:

Detalles Bibliográficos
Autores principales:	Mazzinghi, P., Vannini, M., Salimbeni, R., Pini, R., Guasti, A., Niedbalski, J. J.
Lenguaje:	Español
Publicado:	1989
Acceso en línea:	https://hdl.handle.net/20.500.12110/afa_v01_n01_p153
Aporte de:	Biblioteca Digital - Facultad de Ciencias Exactas y Naturales (UBA) de Universidad de Buenos Aires

id	todo:afa_v01_n01_p153
record_format	dspace
spelling	todo:afa_v01_n01_p1532023-10-03T13:18:43Z Desarrollo de un láser de excímero XeCI con preionización tipo corona Mazzinghi, P. Vannini, M. Salimbeni, R. Pini, R. Guasti, A. Niedbalski, J. J. Se presenta el desarrollo de un láser de excímero XeCl del tipo T.E, de alta presión (2-4 atm.), que emplea Ne como gas buffer. El circuito de excitación es del tipo "transferencia capacitiva" y el canal de descarga está conformado con un cátodo segmentado inductivamente estabilizado y un ánodo contorneado, con una sección efectiva de descarga de 10 x 370 mm2. Se estudiaron los efectos de la preionización UV lateral producida por arcos y por descargas acopladas capacitivamente, sobre la uniformidad de las descargas de bombeo. Por medio de estas últimas, descargas de bombeo volumétricamente homogéneas y muy estables fueron obtenidas empleando mezclas estándar de HCl / Xe / Ne y altamente enriquecidas en HCl / Xe. Emisión láser en 308 mm con relativa alta eficiencia fue obtenida a bajo voltaje de operación Fil: Mazzinghi, P.. Istituto di Elettronica Quantistica (IEQ-CNR). Firenze. Italia Fil: Vannini, M.. Istituto di Elettronica Quantistica (IEQ-CNR). Firenze. Italia Fil: Salimbeni, R.. Istituto di Elettronica Quantistica (IEQ-CNR). Firenze. Italia Fil: Pini, R.. Istituto di Elettronica Quantistica (IEQ-CNR). Firenze. Italia Fil: Guasti, A.. Istituto di Elettronica Quantistica (IEQ-CNR). Firenze. Italia Fil: Niedbalski, J. J.. Universidad Nacional del Centro de la Provincia de Buenos Aires. Facultad de Ciencias Exactas. Departamento de Física (UNCPBA). Buenos Aires. Argentina 1989 PDF Español info:eu-repo/semantics/openAccess https://creativecommons.org/licenses/by-nc-sa/2.5/ar https://hdl.handle.net/20.500.12110/afa_v01_n01_p153
institution	Universidad de Buenos Aires
institution_str	I-28
repository_str	R-134
collection	Biblioteca Digital - Facultad de Ciencias Exactas y Naturales (UBA)
language	Español
orig_language_str_mv	Español
description	Se presenta el desarrollo de un láser de excímero XeCl del tipo T.E, de alta presión (2-4 atm.), que emplea Ne como gas buffer. El circuito de excitación es del tipo "transferencia capacitiva" y el canal de descarga está conformado con un cátodo segmentado inductivamente estabilizado y un ánodo contorneado, con una sección efectiva de descarga de 10 x 370 mm2. Se estudiaron los efectos de la preionización UV lateral producida por arcos y por descargas acopladas capacitivamente, sobre la uniformidad de las descargas de bombeo. Por medio de estas últimas, descargas de bombeo volumétricamente homogéneas y muy estables fueron obtenidas empleando mezclas estándar de HCl / Xe / Ne y altamente enriquecidas en HCl / Xe. Emisión láser en 308 mm con relativa alta eficiencia fue obtenida a bajo voltaje de operación
author	Mazzinghi, P. Vannini, M. Salimbeni, R. Pini, R. Guasti, A. Niedbalski, J. J.
spellingShingle	Mazzinghi, P. Vannini, M. Salimbeni, R. Pini, R. Guasti, A. Niedbalski, J. J. Desarrollo de un láser de excímero XeCI con preionización tipo corona
author_facet	Mazzinghi, P. Vannini, M. Salimbeni, R. Pini, R. Guasti, A. Niedbalski, J. J.
author_sort	Mazzinghi, P.
title	Desarrollo de un láser de excímero XeCI con preionización tipo corona
title_short	Desarrollo de un láser de excímero XeCI con preionización tipo corona
title_full	Desarrollo de un láser de excímero XeCI con preionización tipo corona
title_fullStr	Desarrollo de un láser de excímero XeCI con preionización tipo corona
title_full_unstemmed	Desarrollo de un láser de excímero XeCI con preionización tipo corona
title_sort	desarrollo de un láser de excímero xeci con preionización tipo corona
publishDate	1989
url	https://hdl.handle.net/20.500.12110/afa_v01_n01_p153
work_keys_str_mv	AT mazzinghip desarrollodeunlaserdeexcimeroxeciconpreionizaciontipocorona AT vanninim desarrollodeunlaserdeexcimeroxeciconpreionizaciontipocorona AT salimbenir desarrollodeunlaserdeexcimeroxeciconpreionizaciontipocorona AT pinir desarrollodeunlaserdeexcimeroxeciconpreionizaciontipocorona AT guastia desarrollodeunlaserdeexcimeroxeciconpreionizaciontipocorona AT niedbalskijj desarrollodeunlaserdeexcimeroxeciconpreionizaciontipocorona
_version_	1782023952423452672

Desarrollo de un láser de excímero XeCI con preionización tipo corona

Ejemplares similares