Piezorresistividad en películas delgadas de Al Sb

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Se prepararon películas delgadas de AlSb, de 20 a 100 nm de espesor, por "cosputtering" secuencial de ambos metales, con cátodos tipo magnetron en corriente continua, sobre sustratos. Los depósitos, caracterizados por difracción de electrones y de rayos X de ángulo rasante, son amorfos en...

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Detalles Bibliográficos
Autores principales: Saccone, Fabio Daniel, Alonso, P. J., Aragón, Ricardo
Formato: Artículo publishedVersion
Lenguaje:Español
Publicado: Asociación Física Argentina 1996
Acceso en línea:https://hdl.handle.net/20.500.12110/afa_v08_n01_p210
Aporte de:
Biblioteca Digital - Facultad de Ciencias Exactas y Naturales (UBA) de Universidad de Buenos Aires

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