Oxidación de GaAs [100] a través de espectroscopía Auger

Hemos estudiado las primeras etapas de la oxidación superficial de GaAs utilizando la Espectroscopía de Electrones Auger (AES). Mediante la aplicación de la técnica de Análisis de Factores (FA) determinamos el número de compuestos presentes en la superficie. La evolución de la reacción fue seguida a...

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Detalles Bibliográficos
Autores principales: Passeggi, Mario César Guillermo, García, E., Barco, José Luis del, Ferrón, Julio
Formato: Artículo publishedVersion
Lenguaje:Español
Publicado: Asociación Física Argentina 1991
Acceso en línea:https://hdl.handle.net/20.500.12110/afa_v03_n01_p361
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spelling afa:afa_v03_n01_p3612023-11-07T10:59:12Z Oxidación de GaAs [100] a través de espectroscopía Auger An. (Asoc. Fís. Argent., En línea) 1991;01(03):361-363 Passeggi, Mario César Guillermo García, E. Barco, José Luis del Ferrón, Julio Hemos estudiado las primeras etapas de la oxidación superficial de GaAs utilizando la Espectroscopía de Electrones Auger (AES). Mediante la aplicación de la técnica de Análisis de Factores (FA) determinamos el número de compuestos presentes en la superficie. La evolución de la reacción fue seguida a través de la variación relativa de las transiciones Auger MVV del As y MMM del Ga; la concentración de oxígeno se determinó con la evolución de los niveles KLL del mismo. Determinamos hasta dos compuestos para toda la estructura GaAs, así como también para los picos de As y Ga, dentro de nuestro rango de exposición Fil: Passeggi, Mario César Guillermo. Universidad Nacional del Litoral - CONICET. Instituto de Desarrollo Tecnológico para la Industria Química (INTEC). Santa Fe. Argentina Fil: García, E.. Universidad Nacional del Litoral - CONICET. Instituto de Desarrollo Tecnológico para la Industria Química (INTEC). Santa Fe. Argentina Fil: Barco, José Luis del. Universidad Nacional del Litoral - CONICET. Instituto de Desarrollo Tecnológico para la Industria Química (INTEC). Santa Fe. Argentina Fil: Ferrón, Julio. Universidad Nacional del Litoral - CONICET. Instituto de Desarrollo Tecnológico para la Industria Química (INTEC). Santa Fe. Argentina Asociación Física Argentina 1991 info:ar-repo/semantics/artículo info:eu-repo/semantics/article info:eu-repo/semantics/publishedVersion application/pdf spa info:eu-repo/semantics/openAccess https://creativecommons.org/licenses/by-nc-sa/2.5/ar https://hdl.handle.net/20.500.12110/afa_v03_n01_p361
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