Sensores de humedad de película delgada

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En este trabajo se describe la construcción y caracterización de un sensor de humedad que emplea como elemento sensible alúmina. Se trata de un sensor capacitivo constituído por una capa dieléctrica de Al₂O₃ entre electrodos metálicos, fabricado con tecnología de película delgada

Detalles Bibliográficos
Autores principales: Broitman, Esteban Daniel, Latorre, Daniel Fernando, Sendra, C., Zimmerman, Rosa
Formato: Artículo publishedVersion
Lenguaje:Español
Publicado: Asociación Física Argentina 1990
Acceso en línea:https://hdl.handle.net/20.500.12110/afa_v02_n01_p277
Aporte de:
Biblioteca Digital - Facultad de Ciencias Exactas y Naturales (UBA) de Universidad de Buenos Aires
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