Testing of a MEMS SOI microrelay

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Detalles Bibliográficos
Autores principales:	Lozano, A., Malatto, L., Fraigi, L., Lupi, D., INTI-Electrónica e Informática. Buenos Aires, AR, LATW2004, IEEE Latin-American Test Workshop, 5
Formato:	conferenceObject
Lenguaje:	Inglés
Publicado:	INTI 2004
Materias:	Dispositivos electrónicos Microelectrónica Envasamiento Relés Ensayos Actuadores Materiales cerámicos Prototipos
Acceso en línea:	http://www-biblio.inti.gob.ar:80/gsdl/collect/inti/index/assoc/HASH0135/b9a4df65.dir/doc.pdf
Aporte de:	Repositorio Institucional del Instituto Nacional de Tecnología Industrial (INTI) de INTI

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