Micromaquinado con láseres sólidos de nano y femtosegundos : comparación de resultados
En este trabajo se presentan los resultados de la comparación del micromaquinado láser de obleas de silicio empleando la técnica de escritura directa (direct writing) con pulsos de nanosegundos generados por la técnica de Q-switch en Nd:YAG y pulsos de femtosegundos, provenientes del Ti:Zafiro mode...
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| Autores principales: | , , , , , |
|---|---|
| Formato: | Capítulo de libro |
| Lenguaje: | Español |
| Publicado: |
Villa Martelli, Buenos Aires :
Asociación Física Argentina,
2014
|
| Materias: | |
| Acceso en línea: | Registro en la Biblioteca Digital Handle DOI |
| Aporte de: | Registro referencial: Solicitar el recurso aquí |
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| 100 | 1 | |4 aut |a Rava, D. |e autor |u Universidad de Buenos Aires. Facultad de Ciencias Exactas y Naturales (UBA-FCEyN). Departamento de Física. Buenos Aires. Argentina | |
| 245 | 1 | 0 | |a Micromaquinado con láseres sólidos de nano y femtosegundos : |b comparación de resultados |
| 246 | 3 | 1 | |a Nano and femtosecond solid state laser micromachining : |b comparison of results |
| 260 | |a Villa Martelli, Buenos Aires : |b Asociación Física Argentina, |c 2014 | ||
| 270 | |m mkovalsky@citedef.gob.ar |z Correo electrónico del Autor de correspondencia | ||
| 300 | |a p. 91-95 : |b il., fotos, gráfs. | ||
| 504 | |a Referencias bibliográficas. | ||
| 506 | |2 openaire |e Acuerdo editorial |f info:eu-repo/semantics/openAccess | ||
| 518 | |o Fecha de publicación en la Biblioteca Digital FCEN-UBA |d 2023-03-23 | ||
| 520 | 3 | |a En este trabajo se presentan los resultados de la comparación del micromaquinado láser de obleas de silicio empleando la técnica de escritura directa (direct writing) con pulsos de nanosegundos generados por la técnica de Q-switch en Nd:YAG y pulsos de femtosegundos, provenientes del Ti:Zafiro mode lockeado. Se determinaron los efectos de la redeposición de escombros (debris) y se proponen técnicas para su control |l spa | |
| 520 | 3 | |a In this paper we present the comparison of direct writing silicon wafer using Q-switched pulses from a Nd:YAG laser and mode locking pulses from a Ti:Sapphire laser. We describe the debris effect in both cases and propose several techniques in order to minimize the effect |l eng | |
| 540 | |2 cc |f https://creativecommons.org/licenses/by-nc-sa/2.5/ar | ||
| 653 | 1 | 0 | |a MICROMAQUINADO LASER |
| 653 | 1 | 0 | |a OBLEAS DE SILICIO |
| 653 | 1 | 0 | |a LASER DE ND:YAG |
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| 690 | 1 | 0 | |a ND:YAG LASER |
| 700 | 1 | |4 aut |a Ferrero, Hugo Eduardo |e autor |u Universidad de Buenos Aires. Facultad de Ciencias Exactas y Naturales (UBA-FCEyN). Departamento de Física. Buenos Aires. Argentina | |
| 700 | 1 | |4 aut |a Fidalgo, Luis Enrique |e autor |u Ministerio de Defensa - CONICET. Unidad de Investigación y Desarrollo Estratégico para la Defensa. Departamento de Investigaciones en Láseres y Aplicaciones (UNIDEF- DEILAP). Buenos Aires. Argentina | |
| 700 | 1 | |4 aut |a Agüero, Mónica Beatriz |e autor |u Ministerio de Defensa - CONICET. Unidad de Investigación y Desarrollo Estratégico para la Defensa. Departamento de Investigaciones en Láseres y Aplicaciones (UNIDEF- DEILAP). Buenos Aires. Argentina | |
| 700 | 1 | |4 aut |a Hnilo, Alejandro Andrés |e autor |u Ministerio de Defensa - CONICET. Unidad de Investigación y Desarrollo Estratégico para la Defensa. Departamento de Investigaciones en Láseres y Aplicaciones (UNIDEF- DEILAP). Buenos Aires. Argentina | |
| 700 | 1 | |4 aut |a Kovalsky, M. |e autor |g mkovalsky@citedef.gob.ar |u Ministerio de Defensa - CONICET. Unidad de Investigación y Desarrollo Estratégico para la Defensa. Departamento de Investigaciones en Láseres y Aplicaciones (UNIDEF- DEILAP). Buenos Aires. Argentina | |
| 773 | 0 | |d Villa Martelli, Buenos Aires. Asociación Física Argentina, |g v. 25 |h pp. 91-95 |k n. 02 |p An. (Asoc. Fís. Argent., En línea) |w (AR-BaUEN)CENRE-9838 |x 1850-1168 |t Anales AFA | |
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