Optical and interferometric lithography.

Detalles Bibliográficos
Autor principal: Brueck, S.R.J
Formato: Artículo
Lenguaje:Inglés
Publicado: New York, NY Institute of Electrical and Electronics Engineers
Materias:
Aporte de:Registro referencial: Solicitar el recurso aquí
LEADER 00874nab a22002897a 4500
001 A0002815
003 AR-OvUNE
005 20180807210913.0
006 a||||| 00| 0
007 ta
008 060804n xx ||||| 00| 0 engd
022 |a 0018-9219 
040 |a AR-OvUNE  |c AR-OvUNE 
100 1 |a Brueck, S.R.J.  |9 17875 
245 1 0 |a Optical and interferometric lithography. 
260 2 |b Institute of Electrical and Electronics Engineers  |a New York, NY 
300 |a p.1704-1721 
650 4 |a LITOGRAFIA INTERFEROMETRICA  |9 26088 
650 4 |a METAMATERIALES  |9 26418 
650 4 |a NANOFLUIDICA  |9 26800 
650 4 |a NANOFOTONICA  |9 26801 
650 4 |a NANOMAGNETISMO  |9 26802 
650 4 |a NANOTECNOLOGIA 
773 0 |t Proceedings of the IEEE  |g v.93, no.10, oct.2005 
942 |c AN  |2 udc 
945 |c Registro migrado.  |a bcr  |b Nro. acceso original: A0002815 
999 |c 9251  |d 9251