Estudio y puesta a punto de la técnica de medición de espesores de capas epitaxiales por el método de interferometría infrarroja

por Berset, Alberto, Grünhut, Enrique, INTI. Sector Materiales, Componentes y Sistemas Electrónicos. Buenos Aires, AR, Congreso científico del programa nacional de electrónica
Publicado 1979