Handbook of microlithography, micromachining, and microfabrication /
Guardado en:
| Otros Autores: | |
|---|---|
| Formato: | Libro |
| Lenguaje: | Inglés |
| Publicado: |
Bellingham, Wash., USA :
SPIE Optical Engineering Press,
c1997.
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| Colección: | IEE materials and devices series ;
12A-12B |
| Materias: |
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Instituto Balseiro
| Inventario | Ej. | Ubicación | Disponibilidad | Estado de Circulación |
|---|---|---|---|---|
| 16383 | 1 | 621.38 R13 | Sala | Disponible |
