Wachulak, P., Patel, D., Capeluto, M., Menoni, C., Rocca, J., & Marconi, M. Interferometric lithography with sub-100-nm resolution using a tabletop 46.9-nm laser.
Cita Chicago Style (17a ed.)Wachulak, P.W, D. Patel, M.G Capeluto, C.S Menoni, J.J Rocca, y M.C Marconi. Interferometric Lithography with Sub-100-nm Resolution Using a Tabletop 46.9-nm Laser.
Cita MLA (8a ed.)Wachulak, P.W, et al. Interferometric Lithography with Sub-100-nm Resolution Using a Tabletop 46.9-nm Laser.
Precaución: Estas citas no son 100% exactas.