Sensores de humedad de película delgada
En este trabajo se describe la construcción y caracterización de un sensor de humedad que emplea como elemento sensible alúmina. Se trata de un sensor capacitivo constituído por una capa dieléctrica de Al₂O₃ entre electrodos metálicos, fabricado con tecnología de película delgada
Guardado en:
| Autores principales: | , , , |
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| Lenguaje: | Español |
| Publicado: |
1990
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| Acceso en línea: | https://hdl.handle.net/20.500.12110/afa_v02_n01_p277 |
| Aporte de: |
| Sumario: | En este trabajo se describe la construcción y caracterización de un sensor de humedad que emplea como elemento sensible alúmina. Se trata de un sensor capacitivo constituído por una capa dieléctrica de Al₂O₃ entre electrodos metálicos, fabricado con tecnología de película delgada |
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