Sensores de temperatura de película delgada
Se depositaron trayectos de película delgada de Ni de 1800 Å de espesor diseñados por fotolitografía para ser usados como sen-sores de temperatura. Los trayectos resistivos fueron provistos de contactos de Cu para soldar terminales. Después de ser recu-biertos con una capa de OSi como protección, fu...
Guardado en:
| Autores principales: | , , |
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| Lenguaje: | Español |
| Publicado: |
1989
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| Acceso en línea: | https://hdl.handle.net/20.500.12110/afa_v01_n01_p336 |
| Aporte de: |
| Sumario: | Se depositaron trayectos de película delgada de Ni de 1800 Å de espesor diseñados por fotolitografía para ser usados como sen-sores de temperatura. Los trayectos resistivos fueron provistos de contactos de Cu para soldar terminales. Después de ser recu-biertos con una capa de OSi como protección, fueron sometidos a un tratamiento térmico de estabilización. Se obtuvieron sensores pequeños, estables y precisos |
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