Nitruración y recubrimientos mediante Cañones Coxiales de plasma
En este trabajo de Tesis se presenta el estudio experimental de la distribución de energías y flujototal de del haz de iones de nitrógeno generado por un equipo plasma focus tipo Mather de baja energia. El mismo, se llevó a cabo empleando un espectrómetro Thomson de iones y una copa de Faraday opera...
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| Autor principal: | |
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| Otros Autores: | |
| Formato: | Tesis doctoral publishedVersion |
| Lenguaje: | Español |
| Publicado: |
Universidad de Buenos Aires. Facultad de Ciencias Exactas y Naturales
1999
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| Materias: | |
| Acceso en línea: | https://hdl.handle.net/20.500.12110/tesis_n3124_Lepone https://repositoriouba.sisbi.uba.ar/gsdl/cgi-bin/library.cgi?a=d&c=aextesis&d=tesis_n3124_Lepone_oai |
| Aporte de: |
| Sumario: | En este trabajo de Tesis se presenta el estudio experimental de la distribución de energías y flujototal de del haz de iones de nitrógeno generado por un equipo plasma focus tipo Mather de baja energia. El mismo, se llevó a cabo empleando un espectrómetro Thomson de iones y una copa de Faraday operadaen el modo de emisión de electrones secundarios. La derivación del espectro total de partículas se realizóconsiderando los efectos de intercambio de carga y scattering múltiple del haz con el gas neutro. Parael estudio de la evolución térmica de los substratos se realizó la resolución numérica de la ecuación deconducción térmica, considerando la dependencia con la temperatura de los coeficientes térmicos delmaterial. A partir de las características encontradas, se discute el rol desempeñado por el haz de iones enel procesamiento térmico de las muestras. |
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