Ion implantation, sputtering and their applications /

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Detalles Bibliográficos
Autor principal:	Townsend, P. D. (Peter David)
Otros Autores:	Kelly, J. C. (John Clive), Hartley, N. E. W.
Formato:	Libro
Lenguaje:	Inglés
Publicado:	London : Academic Press, 1976.
Materias:	Ion implantation. Sputtering (Physics) Implantacion de iones. Chisporroteo.
Aporte de:	Registro referencial: Solicitar el recurso aquí Bibliotecas (UNCuyo) de Universidad Nacional de Cuyo

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