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  • En esta tesis presento los trabajos que llevé a cabo en el marco del pro- yecto de desarrollo de un arreglo de microbolómetros para la detección de radiación infrarroja lejana, basados en una tecnología innovadora funda- mentada en expansión térmica y debilitamiento estructural localizado, que se está ejecutando en el Laboratorio de Bajas Temperaturas del CAB. A partir de la división natural del proceso de detección se distinguen tres áreas de desarrollo: Absorción de la radiación IR y conversión en un cambio de temperatura en el sensor; Deformación del dispositivo debida a la expansión térmica; y transducción de las deformaciones en una señal eléctrica. En el área de absorción, llevé a cabo un análisis teórico de las alternati- vas publicadas en la bibliografía. Evalúe la posible utilización de métodos clásicos como el Black Gold y los resonadores de película ultradelgada, des- cartádolos por su falta de repetibilidad. Propuse la utilización de superficies de absorción selectiva a la frecuencia basadas en películas delgadas micro- estructuradas, demostrando la viabilidad de su fabricación por técnicas de micromaquinado mediante cálculos aproximados. En el área de la dinámica termo-mecánica y el proceso de fabricación tra- bajé en dos líneas de desarrollo paralelas: una primera generación (G0) de sensores fabricada en poli-silicio mediante el proceso comercial PolyMUM- Ps; y una nueva generación de dispositivos (G1) a ser fabricada en el labora- torio mediante un proceso basado en el litografiado de polímeros sensibles al UV. Caracterizé los sensores G0 por su respuesta térmica y mecánica. Veri- fiqué y caractericé los resultados de la fabricación mediante microscopía y perfilometría óptica. Estudié la dinámica termo-mecánica de los sensores mediante mediciones ópticas de la deformación debida a calentamiento por efecto Joule, tanto en una atmósfera de aire como en vacío. Efectúe análisis de sensibilidad, repetibilidad, límite elástico y sensibilidad a la presión de la respuesta de los dispositivos. Para complementar los resultados experimen- tales, llevé a cabo simulaciones numéricas de elementos finitos mediante el software especializado CoventorWare, cuyos resultados permitieron expli- car algunos fenómenos observados. En la otra línea de trabajo, las actividades que realicé estuvieron cen- tradas en el diseño y desarrollo del proceso de fabricación de los nuevos dispositivos. Para distinos polímeros, caractericé las propiedades ópticas en el rango visible y en el infrarrojo, y avancé en la determinación de las cur- vas de contraste. En la parte de diseño, ideé nuevos modelos y variaciones de los sensores que permitieran estudiar en más detalle la dinámica termo- mecánica, y dibujé las máscaras de litografía necesarias para su fabricación. En el área de medición de las deformaciones, trabajé en la evaluación de la posibilidad de detectarlas ópticamente. Estudié los distintos métodos de detección de desplazamientos basados en técnicas ópticas, tales como Laser Beam Deflection e interferometría y las aplicaciones a dispositivos microma- quinados presentados en la bibliografía. Propuse modos de implementación compatibles con las dimensiones y los procesos de fabricación de nuestros dispositivos, tanto para la variante simétrica como para la asimétrica de los sensores. Finalmente, realicé un análisis económico-comercial, y lo presenté en for- ma de un plan de negocios. El plan de negocios proponía, a modo de ejer- cicio académico, la creación de una empresa desprendida del laboratorio para la fabricación y comercialización de los detectores una vez finalizado el desarrollo en curso.